Tischnetzteil

DCmit mehreren Ausgängen

Produktübersicht
Versorgt die elektrochemische Politur (Electropolishing) von 300-mm-Wafern in der Halbleiterfertigung mit Gleichstrom. OEM-Gleichstromquelle mit 6 Kanälen in einem einzigen Gehäuse, das sechs 600-W-Netzteile enthält. Selbstständiger Controller — arbeitet nach Voreinstellung eigenständig.

Hauptmerkmale

• OEM 6-Kanal-Gleichstromquelle
• Einzelgehäuse mit sechs 600-W-Netzteilen
• Eigenständiger Controller — arbeitet unabhängig nach Voreinstellung
• Unterstützt Rampen und Sequenzen
• Fähigkeit zu kanalübergreifender, abhängiger Steuerung
• DeviceNet-Schnittstelle
• Halbleiterbasierte Polungsumschaltung (Solid-State)

Technische Daten

• Kanäle: 6
• Leistung pro Kanal: 600 W
• Konfiguration: Einzelgehäuse mit 6 Netzteilen
• Steuerung: Integrierter Controller mit programmierbaren Sequenzen und Rampen
• Kommunikation: DeviceNet
• Polungsumschaltung: Halbleiterbasiert (Solid-State)

Anwendungen

• Elektropolitur von 300-mm-Wafern
• Dünnschichtverarbeitung und Oberflächenbearbeitung
• Halbleiter-F&E und Produktionslinien

Schnittstellen und Steuerung

• DeviceNet-Kommunikation für Integration in die Fabrikautomation
• Programmierbare Rampen, Sequenzen und kanalübergreifende Abhängigkeiten für komplexe Prozesse
• Halbleiterbasierte Polungsumschaltung für schnelle und zuverlässige Polaritätswechsel