Motorisierte Nanopositioniertische

Hub: 0,4, 0,2, 0,1 mm

... Die NPX Piezo Stack Lineartische bieten lange Verfahrwege und eine Sub-Nanometer-Auflösung in einer, zwei oder drei Achsen in einem kompakten Gehäuse. Sie zeichnen sich durch eine schnelle Reaktion und ein schnelles Einschwingverhalten ...

Hub: 100 µm
Ladung: 21 g

• Parallelkinematisches Design für höchste Steifigkeiten in allen Raumrichtungen • Hochdynamische Bewegungen mit Lasten bis zu 100 g durch hohe Resonanzfrequenzen • Innovatives Produktdesign durch eine einzige, flexibel einsetzbare ...

Hub: max 16.0 µm

Die Piezo-Positioniertische PXY basieren auf Piezo-Aktoren, welche mittels Festkörpergelenken dynamisch mit der Genauigkeit im Nanometerbereich präzise positionieren können. Die Piezo-Tische und Piezo-Scan-Antriebssysteme erreichen Positionierwege ...

Hub: 1 mm

... Der piezoelektrische Nanopositioniertisch ZSA-1000C von DSM verfügt über eine biegegegeführte Bewegung über einen vertikalen Verfahrweg von 1 mm für Scan-, Mess- und Inspektionsprozesse. Das stabile und steife kinematische ...

Hub: 100, 200, 300 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s
Wiederholbarkeit: 0,015 µm - 0,02 µm

Nanometer-Linearachse HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10E-11 mbar • Schmierung: flüssig bis 10E-8 mbar / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...

Hub: 10 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/s

• Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C • Durchlicht: 80 x 80 mm Optional konfigurierbar: • Mit und ohne Messsystem • Wahlweise ...