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Kompakte Mikro-Positioniersysteme
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MP105-3 - Vakuum kompakte Mehrachssysteme Schneller, präziser Mikropositionierer • HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 1 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • Schmierung ...
Hochauflösender Mikropositionierer • HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 0.5 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: ...
Wiederholbarkeit: 1,5, 0,4, 0,75, 0,15 µm
Ladung: 7,5, 2 kg
Hub: 40, 16 mm
Unser HEX150-140HL bietet eine konsistente und zuverlässige Bewegung mit sechs Freiheitsgraden (DOF) in einer kompakten und dennoch steifen Plattform. Sie profitieren von einer ultrafeinen Positionierungsauflösung, einer ...
... Bewegungsvorrichtungen bieten sechs Freiheitsgrade (X, Y, Z, Nicken, Rollen und Gieren) in einer kompakten Lösung für die Mehrachsenpositionierung. Als Alternative zum Stapeln mehrerer Tische haben Hexapoden ...
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