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Mikro-Positioniersystem / Ultrahochvakuum MP105-3 series
3-AchsXYZpiezoelektrisch

Mikro-Positioniersystem / Ultrahochvakuum
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Eigenschaften

Achszahl
3-Achs, XYZ
Verwendung
für Reinraum, für Hygieneanwendungen, für die Halbleiterindustrie, für Wafer-Inspektion und Metrologie, für optische Strahlung, Vakuum, zur geometrischen Ausrichtung
Weitere Eigenschaften
kompakt, Ultrahochvakuum, Kreuzrollenlager, für Granitplatten, hochauflösend

Beschreibung

MP105-3 - Vakuum kompakte Mehrachssysteme Schneller, präziser Mikropositionierer • HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 1 kg Last • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV • Schmierung flüssig bis 10E-8 / trocken bis 10E-11 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung • Verschienene Motorvarianten: Piezomotor oder Nanomotion • Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm • Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Anwendungsbereiche Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung

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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.