HORIBA STEC Massendurchflussregler

Druck: 3, 4 bar

... Der GR-511F kann Gase steuern, die zur Kühlung der Rückseite von Wafern verwendet werden, die durch ein elektrostatisches Chuck-System fixiert sind. Dank seiner Stabilität und Genauigkeit ist der GR-511F ideal für die Steuerung des Helium- ...

... dass der Massendurchflussregler von der Gastafel oder den Rohrleitungen entfernt werden muss. Dadurch wird die Anzahl der erforderlichen Ersatz-Massedurchflussregler reduziert, was sowohl Zeit als auch Kosten spart. Der ...

... Die SEC-N100 Serie ist für eine Vielzahl von Industrien und Anwendungen geeignet. Dieser Massendurchflussregler kann einen breiten Bereich von Durchflüssen regeln: von 10 SCCM bis 1000 SLM. Die SEC-N100 Serie verfügt ...

Durchsatz: 3 l/min - 150 l/min
Druck: 1 bar - 3 bar

Druck: 0 bar - 2 bar

... Die Massendurchflussregler der Serie SEC-400 werden in einer Vielzahl von Branchen und Märkten auf der ganzen Welt eingesetzt. Er wird mit thermischen Ventilen installiert und bietet zuverlässige Regelungsmöglichkeiten. Hohe ...

Durchsatz: 0 l/min - 0 l/min
Druck: 1 bar - 3 bar

... Druckunempfindlicher Massendurchflussregler Die SEC-Z700X Serie ist mit zuverlässigen thermischen Sensoren und einer druckunempfindlichen Funktion für eine stabile Durchflussregelung ausgestattet. Die integrierte Druckmessung ...

Durchsatz: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Druck: 1 bar - 3 bar

... Bei den Serien LF-F und LV-F handelt es sich um digitale Massendurchflussregler für Flüssigkeiten, die mit einem Peltier-Element arbeiten, das die Flüssigkeit kühlt, anstatt die übliche Methode der thermischen Erwärmung ...

Durchsatz: 0 l/min - 2 l/min