Relativdrucksensor SE103

absolutSiliziumMEMS

Das Modell SE103 ist ein piezoresistiver Drucksensor-Chip für Relativ- oder Absolutdruckmessungen für allgemeine Zwecke. Die Sensorchips werden im 6″-Wafer-Silizium-auf-Silizium-Verfahren mit MEMS-Technologie hergestellt. Das Modell SE103 ist mit einer Grundfläche von 1,7 mm x 1,7 mm erhältlich. Im Vergleich zum SE101 hat der SE103 seine Hohlraumstruktur zusammen mit der Siliziummembran anstelle der Siliziumeinschränkung. Dadurch erreicht der SE103 einen geringeren Nichtlinearitätsfehler und kann ohne seine Einschränkung für Messgeräte oder Differenzmessungen verwendet werden. Der SE103 ist als unkompensierter Sensorchip konzipiert und in einer geschlossenen Brückenschaltung mit 4 Lötpads erhältlich. Vor dem Verpacken wird jeder SE103-Sensorchip getestet und geprüft. Drei Arten von Verpackungen stehen als Optionen zur Verfügung, um verschiedenen Marketinganforderungen gerecht zu werden.