Brooks instruments thermische Massen-Durchflussmesser

Prozesstemperatur: 5 °C - 50 °C
Prozessdruck: 0 bar - 10 bar
Präzision: 0,35, 1 %

Ein Gerät. Mehrere Gase und Durchflüsse. Maximale Flexibilität Die elastomergedichteten Massendurchflussregler und Durchflussmessgeräte der Serie GF40 bieten Ihnen maximale Prozessflexibilität und -produktivität. Zusammen ...

Durchsatz: 0 l/min - 300 l/min
Prozesstemperatur: 0 °C - 50 °C
Prozessdruck: 0 bar - 34,47 bar

... Reinheit. Die Durchflussmessgeräte sind extra für die Halbleiterproduktion entwickelt. Dabei übertrifft die Serie GF100 den Halbleiterindustriestandard und stellt eine wiederholbare, zuverlässige Leistung sicher. Alle ...

Prozesstemperatur: 0 °C - 50 °C
Prozessdruck: 0 bar - 10,34 bar
Präzision: 0,35, 1 %

... Reinheit. Die Durchflussmessgeräte sind extra für die Halbleiterproduktion entwickelt. Dabei übertrifft die Serie GF100 den Halbleiterindustriestandard und stellt eine wiederholbare, zuverlässige Leistung sicher. Alle ...

Durchsatz: 0 l/min - 1.000 l/min
Prozesstemperatur: 0 °C - 65 °C
Prozessdruck: 0 psi - 1.500 psi

... Massendurchflussreglern der Serie 5850E Profitieren Sie vom einzigartigen, extrem stabilen Durchflusssensor der Serie 5850E und 5850i. Diese thermischen Durchflussregler bieten Ihnen zuverlässiges, ...

Durchsatz: 0 l/min - 36.000 l/min
Prozesstemperatur: -14 °C - 65 °C
Prozessdruck: 310, 100, 70 bar

der elastomergedichteten thermischen Massendurchflussregler SLAMf MFCs mit einem robusten Gehäuse für präzise Durchflussmessung unter härtesten Bedingungen - jetzt auch verfügbar mit EtherNet/IP™ Ob Staub, Feuchtigkeit ...

Durchsatz: 40 l/min
Prozesstemperatur: 5 °C - 50 °C
Prozessdruck: 0 bar - 10 bar

Durchflussmesser für extrem schnelles Ansprechen in zeitkritischen Durchflussprozessen Je schneller ein thermischer Massendurchflussregler und -messer angesprochen werden kann, desto effizienter und ...

Durchsatz: 0 l/min - 50 l/min
Prozesstemperatur: 0 °C - 65 °C
Prozessdruck: 0 psi - 150 psi

... Anwendungen Das Modell 5700 ist ein kompakter, wirtschaftlicher Massendurchflussmesser, der Ihnen ohne Temperatur- oder Druckkorrektur langfristig stabile Durchflussmesswerte liefert. Der Durchflussmesser ...

Durchsatz: 0 l/min - 300 l/min
Prozesstemperatur: 0 °C - 50 °C
Prozessdruck: 7 psi - 90 psi

Die Serie GF80 der metallgedichteten thermischen Massendurchflussregler MFCs für höchste Leistungsfähigkeit und Wirtschaftlichkeit Für viele Industrie- und Halbleiterprozesse sind sowohl die Leistungsfähigkeit als ...

Durchsatz: 0 l/min - 30.000 l/min
Prozesstemperatur: 0 °C - 65 °C
Prozessdruck: 0 psi - 1.500 psi

Metallgedichtete thermische Massendurchflussregler der Serie 5850EM Bewährte Langzeitstabilität mit den Durchflussmessern 5850EM Die metallgedichteten Massendurchflussregler der Serie 5850EM bieten Ihnen die Stabilität, ...

Prozesstemperatur: 0 °C - 150 °C
Prozessdruck: 0 psi - 90 psi
Präzision: 1, 0,35 %

... hochtemperatur-Massendurchflussregler (MFCs) und -messgeräte sind für die Steuerung und Messung des Massendurchflusses von Dämpfen aus flüssigen oder festen Quellen konzipiert, um die zunehmende Verwendung dieser Vorprodukte in Halbleiterherstellungsprozessen ...