MBE-System GEN930®

Das GEN930 MBE-System von Veeco eignet sich für die Entwicklung von III-V- oder II-VI-Materialien, komplett mit einer direkten Pumpenkupplung für Nitrid- und Oxidanwendungen. Das Werkzeug ist modular aufgebaut, was eine kostengünstige und flexible Lösung mit bewährter Materialqualität gewährleistet. Diese Ausrüstung kann mit einer Analyseausrüstung zur In-situ-Überwachung von Wachstumsprozessen integriert werden. Darüber hinaus bietet das Gerät eine vielseitige Plattform für In-situ-Überwachungstechniken wie RHEED, Pyrometrie, Ellipsometrie, RGA, optische Flussüberwachung und Reflexionsspektroskopie.