• Vakuum: alle Bereiche HV bis 10E-8 mbar
• Schmierung flüssig bis 10E-8 mbar
• Max. Ausheiztemperatur: 100°C
Optional konfigurierbar:
• Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung
• Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
• Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
• Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
• Optional mit Controller FMC400/450
Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung
Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das große Durchlicht von 79 mm können auch große Proben exakt positioniert, vermessen und analysiert werden. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.
Anwendungsfelder
Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung