Hochpräzisionstisch DT65

drehbarmotorisiertvakuumkompatible

• Vakuum: alle Bereiche HV bis 10-8 mbar • Schmierung flüssig bis 10-8 mbar • Max. Ausheiztemperatur: 100°C Optional konfigurierbar: • Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) • Optional mit Controller FMC400/450 Kleiner, hochdynamischer Drehtisch Der kleinste Vakuum-Drehtisch im Produktportfolio überzeugt durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit. In Vakuum- und magnetarmer Ausführung ist der DT65 perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen. Er findet daher seinen Einsatz insbesondere in der Forschung und Entwicklung sowie in der Experimentalphysik. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden. Anwendungsfelder Forschung und Entwicklung, Aufbau von Mehrachssystemen, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung