Linearer Positioniertisch MT53

piezoelektrisch1-AchsKreuzrollen

MT53 Hochauflösender Mikrotisch: Der kleinste Tisch im Produktportfolio von Steinmeyer Mechatronik überzeugt durch höchste Auflösungswerte. Mit seiner miniaturisierten Bauform ist er ideal für Anwendungen mit geringem Platzbedarf und hohen Ansprüchen an Stabilität. Submikrometer Schrittweiten dank Piezomotor: Ausgestattet ist der MT53 mit Kreuzrollenführungen und einem Piezoantrieb, welcher Schrittweiten im Nanometerbereich ermöglicht. In der Vakuum- und nicht-magnetischen Version ist dieser Mikrotisch perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich. Ideal für Mikrobearbeitung und Mikromontage: Der MT53 findet seinen Einsatz insbesondere in Applikationen der Mikrobearbeitung und Mikromontage. Auch für Anwendungen in Forschung und Entwicklung oder in der Halbleiterindustrie lässt er sich ideal einsetzen. Technische Daten: • Verfahrweg: 10 mm • Wiederholgenauigkeit unidirektional: ± 0.2 µm • Wiederholgenauigkeit bidirektional: ± 0.3 µm • Positioniergenauigkeit: ± 0.8 µm • Positioniergeschwindigkeit: 5 mm/s • Max. Beschleunigung: 0.1 m/s2 • Max. Last Fx: 5 N • Max. Last Fy: 8.8 N • Max. Last Fz: 8.8 N