Präzision, kompakt, Industrie, Miniatur, für Wafer-Handling, Kreuzrollen
Hub
Max: 40 mm (1,575 in)
Min: 1 mm (0,039 in)
Geschwindigkeit
Max: 2,2 mm/s
Min: 1 mm/s
Wiederholbarkeit
Max: 5 µm
Min: 1,5 µm
Ladung
Max: 6,5 kg (14,33 lb)
Min: 3 kg (6,61 lb)
Beschreibung
MT95
Kompakter Positionierer mit innen liegendem Motor
Der Miniatur-Lineartisch MT95 erreicht mit Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb wird mit einem Zahnriemengetriebe umgelenkt und kann so vollständig im Positioniertisch untergebracht werden.
• Ideal für kleine Bauräume (95 x 95 x 40 mm)
• Wiederholgenauigkeit bis 2.1 µm
• Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen
Optionen:
• Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
• Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP95-3
• Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage
Technische Daten:
• Verfahrweg: 40 mm
• Wiederholgenauigkeit unidirektional: ± 2.1 µm
• Wiederholgenauigkeit bidirektional: ± 4.1 µm
• Positioniergenauigkeit: ± 5.4 µm
• Positioniergeschwindigkeit: 5.8 mm/s
• Max. Beschleunigung: 0.1 m/s2
• Max. Last Fx: 30 N
• Max. Last Fy: 65 N
• Max. Last Fz: 65 N
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.
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