Wasserrückkühler ThermoRack 1801

kompaktthermoelektrisch

HALBLEITER-KÜHLSCHRÄNKE ThermoRack 1801 Rackmount-Kühler mit höherer Kapazität für Plasmaätzung und andere Halbleiteranwendungen 1.800 Watt Kühlleistung - 50 % mehr Leistung als das ThermoRack 1201 im gleichen 5HE-Rackmount-Gehäuse ±0,05°C Temperaturstabilität/Wiederholbarkeit Betriebsbereich von -20°C bis 70°C Entwickelt für sehr schnelles Ansprechen Verfügbar in Standardkonfigurationen mit hohem, mittlerem und niedrigem Durchfluss Reduziert Schwankungen von Wafer zu Wafer und eliminiert den First-Wafer-Effekt Bis zu 80 % energieeffizienter als kompressorbasierte Kältemaschinen Verwendet thermoelektrische Technologie für hohe Zuverlässigkeit und reduzierte Wartungskosten Einfaches Design - nur 2 bewegliche Teile Eliminiert Freon und andere schädliche Kältemittel, um die neuen Umweltvorschriften zu erfüllen Verbraucht weniger Betriebswasser und teure Kühlmittel, wie Fluorinert oder Galden Kompakte Größe: Bis zu 6 TR1801-Systeme passen auf den Platz von 1 Kompressorkühlmaschine Kommunikationsschnittstellen für AMAT-, LAM-, TEL- und Hitachi-Systeme verfügbar Universelle Stromversorgung - einstecken und loslegen, überall auf der Welt Eine exzellente Lösung für Plasmaätzung, Plasmaveraschung, CMP und andere Prozesse