Wasserumlaufkühler ThermoRack 1201

für die HalbleiterindustriekompaktRack

ThermoRack 1201 ist ein thermoelektrischer 19"-Einschub-Rückkühler mit Rückkühlung, der speziell für diesen Zweck entwickelt wurde halbleiterherstellung plasma-Ätzen plasma-Asche herstellung von Solar- und Flachbildschirmen Betriebsbereich: - -10°C bis 80°C Umgebungstemperatur: - 10°C bis 40°C nicht kondensierend Stabilität / Wiederholbarkeit: - ± 0,05°C bei konstanter Last (auch in der Nähe der Umgebungstemperatur) Kühlleistung: - Bis zu 1340 Watt bei 20°C mit 20°C Anlagenwasser Heizleistung: - Bis zu 2000 Watt bei 20°C mit 20°C Anlagenwasser Kühlmittel / Prozessflüssigkeit: - Glykol / Wassergemisch, Fluorinert / Galden oder HFE Prozessfluid-Verschraubungen: - 1/2" Swagelok Pumpe: - 14 lpm (3,7 gpm) @ 30 psig mit HFE Tankvolumen: - 5,7 Liter (1,5 gal) mit 2 Füllstandssensoren Anlagenwasser: - 4-19 lpm (1-5 gpm) @ 10-35°C gefiltertes, aufbereitetes Kreislaufanlagen-Kühlwasser Betriebswasserarmaturen: - 1/2" Swagelok (Edelstahl 316) N2/CDA (Optional): - 500 sccm -30°C Taupunkt oder niedrigerer CDA oder N2, 2-4 bar (30-60 psig) für Betrieb bei niedrigen Temperaturen Benetzte Materialien: - Verfahren: Aluminium, rostfreier Stahl und Polymere Einrichtung: Teflon-imprägniertes, eloxiertes Aluminium und Edelstahl Größe (B x T x H): - 19" x 24" x 8,7" 5U (48,3 x 61 x 22,1 cm) Gewicht: - 70 lbs (31 kg) Leistungsaufnahme: - 200-240 VAC 1 Phase, 50/60 Hz, max. 10 Ampere Leistungsschalter: - 16 Ampere 200-250 VAC 2-polig mit 30 mA GFCI Remote EMO: - Externer Trockenkontakt Kommunikation: - Lam analog, AMAT CHX und Tel Unity II Alarme: - Temperatur, Flüssigkeitsstand, System oder Komponente ausfall (Anzeige, Trockenkontakt und Maschinenschnittstelle Normen: - Semi S2-0200, F47-konform, CE, TÜV-gelistet nach UL, CAN/CSA und EN 61010-1 Garantie: - 2 Jahre