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Automatisches Handlingsystem modularfür Waferfür Transport
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Eigenschaften
- Betriebsmodus
- automatisch, modular
- Produktanwendungen
- Umschlag, für Transport, für Wafer
- Anwendung
- Prozess
Beschreibung
·Modularer Aufbau mit hochgradig standardisierten Komponenten für ähnliche interne Strukturen, was die Ersatzteilverwaltung vereinfacht;
·Touchscreen + SPS-Steuerung, die Bedienoberfläche ist einfach und übersichtlich;
·Logik für den Transfer und die Handhabung kleiner Prozessboote mit hohem Durchsatz: ≥ 8000 Stück/Stunde (182-mm-Wafer);
·Mit Pausenfunktion auf höchster Zugriffsebene zur umfassenden Verbesserung der Sicherheitsredundanz der Anlage;
·Branchenübliches Erkennungssystem verfügbar (optional) zur Steigerung der Produktionsausbeute;
·Kompatibel mit AGV- und RFID-Systemen zur automatischen Planung und Nachverfolgung von Kassetten und Prozessträgern sowie zur Verwaltung und Planung von Kassetten und Prozessträgern auf Werkstattebene durch Integration in das MES-System.
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.