Photoelektronenspektrometer NanoSAM Lab

ProzessMCPElektronen AES

UHV Gemini Elektronensäule: höchste Ortsauflösung kleinste E-Beam Spotgröße einzigartige Niedrigenergieleistung effizientes REM mit integrierter SED-Linse NanoSAM Elektronenanalysator variable Energieauflösung ausgezeichnete Empfindlichkeit, mehrkanalige Erkennung Probenhandling: flexibler Stichprobenumfang variable Probentemperatur (50-500K) probenneigung 60 Das NanoSAM Lab ist das ultimative Werkzeug für die Analyse kleiner Strukturen. Angetrieben von der einzigartigen Leistung der UHV Gemini-Elektronensäule garantiert sie eine konkurrenzlose Auflösung unter 5 nm in der Scanning Auger Microscopy (SAM) und besser als 3 nm im REM. Im Gegensatz zu anderen Auger-Werkzeugen steht die extrem gute Auflösung nicht nur bei Standard 20 keV Strahlenergie zur Verfügung, sondern auch bei 5 keV bleibt die SAM-Auflösung unter 10 nm. Dies ermöglicht den Betrieb in einem Parameterbereich, in dem die Schneckenquerschnitte hoch sind, und ist für die quantitative Analyse gut dokumentiert.