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Automatisierungsystem für Produktion RTA-DIA30000HP-R/Lfür Prozess
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Eigenschaften
- Merkmal
- für Produktion, für Prozess
Beschreibung
● Geeignet für Wafer der Größe 156/230
● Kompatibel mit verschiedenen Marken von Wafer-Diffusionsanlagen und verschiedenen Größen von Quarzbooten
Merkmale:
● Be- und Entladen: Kassette
● Ausgabe: Quarzboot
● Optionaler Online-Quadratwiderstand, Erkennung, Hydrophilitätstest, Erkennung von fehlenden Teilen und Erkennung von Wasserteilen
● Optionale Unterstützung von MES-Schnittstelle und Remote-Debug-Funktion
● OEE-Statistiken & Energieverbrauchsanalyse
● Keramischer Sauger, keramischer Schnelleinsatz für das obere Zahnrad
● Standard Ionenspalt-Luftmesser
● Optionale Unterstützung der MES-Funktion und Ferndiagnosefunktion
● Optionale intelligente IGV-Schnittstelle
● Intelligente Maschine, OEE-Statistik- und Energieverbrauchsanalysefunktion
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.