Automatisierungsystem für Prozess RTA-SRT-8000

Prozess : ● Anwendbar auf Wafer der Größe 125/156 ● Kompatibel zu verschiedenen Größen von Röhren-PECVD-Anlagen und Platten-PECVD-Anlagen Merkmale : ● Gemeinsames Online-Zweikanal-Design für alle AB ● Online-Integration von AOI und IV-Prüfung ● Automatische Erkennung und Wurffunktion der eingehenden Zelle Linearmotor-Schnellaufnahmefunktion ● Stand-alone Vier-Stationen-Plattform ● Hohe Geschwindigkeit und hohe Produktivität ● Hohe Effizienz und geringe Bruchrate ● Automatische Zellenklassifizierung ● Wafer-ID-Verfolgungsfunktion ● Stapelumschaltung automatisch ● MES-Schnittstelle und Ferndiagnose ● OEE-Statistik und Energieverbrauchsanalyse Beladen: online, offline ● Entladen: Gestapelte Box ● Wahlweise ein-/doppelspurige Ausführung, ganzes/geteiltes Layout Optionen： ● AOI-Front- oder Rückseitenerkennung ● IV Vorder- oder Rückseitenerkennung, optional Marke HALM oder WAVELAB Anzeige und Druckfunktion der Zellenklassifizierungsnummer ● RFID-Tag-Erkennungsfunktion ● IGV intelligente Andockfunktion Vorteil : ● Hohe Genauigkeit (SMega Pixel Smart Kamera Positioniergenauigkeit und Wiederholbarkeit weniger als 1 Oum@3 cr Hochauflösender Linearmotor ) ● Hohe Effizienz und geringe Bruchrate (Uptime≥98,5% Breakage≤0,1 % ) ● Hoher Durchsatz （Durchsatz:8000Stück/Stunde Zykluszeit≤0,9sec ） ● Hoher Output （Output: 140.000 Stück/Tag 8000Stück/Stundex98%x22=176000Stück/Tag） ● Intelligenter Shuttle-Roboterarm （Mehrachsiges Shuttle-Arm-Design, unabhängige Steuerung Absolut-Encoder-Design Schneller Stapelschalter ）