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- RENA Technologies GmbH
Isopropanol-Trockner VaporDry ChargenReinigungKlarspül
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Eigenschaften
- Technologien
- Isopropanol
- Batch/ kontinuierlich
- Chargen
- Andere Funktionen
- Reinigung, Klarspül
Beschreibung
Der RENA VaporDryer integriert den IPA-Trocknungsprozess mit Reinigung und Spülung zu einem einstufigen Verfahren. Er ist eine ideale Lösung für die Verdrängung von Wasser aus Strukturen mit hohem Aspektverhältnis und Through Silicon Vias (TSVs) sowie für die effektive Trocknung komplexer Oberflächen. VaporDry kann in RENA-Batch-Immersionsplattformen integriert werden. Dieser Trockner kann sowohl für FEoL- als auch für BEoL-Anwendungen eingesetzt werden. Der gesamte Prozess wird durch die fortschrittliche IDX Flexware Prozesssteuerungssoftware von RENA überwacht und gesteuert.
Funktionen und Vorteile
Niedrigere Kosten im Vergleich zu Marangoni-Trocknern
85 % weniger IPA-Verbrauch im Vergleich zu Dampftrocknern mit kochendem Sumpf
Robuste, zuverlässige und praxiserprobte Leistung
Hervorragende Partikelleistung ( 750 µm
Kleine Stellfläche
Messen
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Halbleiter
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.