Automatische Prüfstation MSA-600

optischMEMSmodular

OPTISCHES 3D-MESSGERÄT FÜR MEMS UND MIKROSTRUKTUREN Diese optische Mess- und Teststation ermöglicht die Topografieanalyse und dynamische Schwingungsanalyse zur Qualitätskontrolle, Prüfung und Entwicklung von Mikrostrukturen und MEMS-Bauteilen (mikro-elektromechanische Systeme). Die 3D-Messdaten helfen bei der FE-Modellvalidierung, und der Evaluierung der Formparameter. Das MSA-600ist eine komplette optische 3D-Messstation zur Charakterisierung der statischen und dynamischen MEMS Eigenschaften. MESSUNG DES DYNAMISCHEN VERHALTENS UND DER 3D-TOPOGRAPHIE VON MEMS UND MIKROSTRUKTUREN Die Versionen MSA-600-M/V decken einen Frequenzbereich bis zu 25 MHz ab und eignen sich perfekt für die Prüfung von MEMS, MEMS-Mikrofonen und anderen Mikrosystemen. Die Versionen MSA-600-X/U für höhere Frequenzen decken einen Frequenzbereich bis zu 2,5 GHz ab und sind ideal für die Untersuchung von Hochfrequenz-HF-MEMS-Resonatoren, mikroakustischen Bauteilen wie SAW, BAW und anderen. HIGHLIGHTS - Optische All-in-One-Messstation für Mikrostrukturen - Echtzeit-Antwortmessung (kein Post-Processing erforderlich) - Versionen MSA-600-M/V mit bis zu 25 MHz - Versionen MSA-600-X/U mit bis zu 2,5 GHz - Unerreichte sub-pm-Amplitudenauflösung - Schnelle Messung und Visualisierung von Schwingformen - Einfache und intuitive Bedienung - Automatisierbar und integrierbar in Probe Stations und in die Linie - Import-/Exportoptionen für die Validierung von FE-Modellen Fragen Sie eine Demo oder Machbarkeitsstudie an, schicken Sie uns Ihren MEMS-Prüfling oder profitieren Sie von unserem Support remote und vor Ort, zur Integration in Prüfstationen und Produktionslinien.