Beschichtungssystem AL 900

Modifizierte Maschine. Maße: - L: 550mm B: 1900mm H: 900mm Gewicht: - 180 KG Volumen: - 250 Liter Kammer: - Aluminium mit Leiterplattenhalterung Leiterplattenhalterung : L: 400mm B: 650mm H: 800mm Leiterplatten: bis zu 4/5 Platten mit 18x24" oder 20x24" LF-Ausgang (Low Frequency): - Betriebsfrequenz = 40 KHz, bis zu 2000 Watt Mikrowellenausgang: - 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt Inklusive: - 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 6 Gaskanäle sind möglich) Substrathalterung (optional): - Aluminium, angepasstes Design möglich Vakuumverbindung: - DN 63 ISO-KF Belüftung: - elektromagnetisches Ventil Pumpensystem: - bis zu 250m³/h Kammertür: - Schwenktür mit Fenster