Beschichtungssystem Q150

Leicht zu bedienen und einfach zu laden. Unsere Q-Serie bietet schnelle und zuverlässige Plasmabearbeitung. Maße: - L: 500mm B: 550mm H: 370mm Gewicht: - 40 KG Volumen: - 4 Liter Kammer: - Quarzglas, 150mm Ø, B: 244mm Mikrowellenausgang: - 2,45 GHz / zw. 50 - 1200 Watt Inklusive: - 1 Gaskanal (Gasverteilungssystem innerhalb der Kammer, bis zu 3 Gaskanäle sind möglich) Substrathalterung (optional): - Aluminium, angepasstes Design möglich Vakuumverbindung: - DN 25 ISO-KF Belüftung: - elektromagnetisches Ventil Pumpensystem: - bis zu 25m³/h Kammertür: - Auswahl zwischen Schwenktür mit Fenster und Schiebetür mit Unterstützungsstäben zum Beladen von Substraten Wafergröße: - bis zu 125mm, bei einer Anzahl von bis zu 25 Wafern