Auslenkung bis 2 mm
Schnelle Ansprechzeit im ms-Bereich
nm-Auflösung
Niedrige Betriebsspannung
Betriebstemperatur bis zu 150 °C
UHV-kompatibel bis 10-9 hPa
PICMA® Multilayer-Biegeelemente mit hoher Zuverlässigkeit
Betriebsspannung 0 bis 60 V. Bidirektionale Auslenkung, bimorpher Aufbau. Keramische Isolierung, polymerfrei. UHV-kompatibel bis 10-9 hPa, kein Ausgasen, hohe Ausheiztemperatur. Zuverlässig auch unter extremen Bedingungen.
Einsatzgebiete
Industrie und Forschung, Vakuum. Für Medizintechnik, Lasertechnik, Sensorik, Automatisierung, pneumatische Ventile.