Test-Sonde HPGP-101-C

GasentnahmeGasfür Hochdruckanwendungen

Sensitivitätsbereich: 0,1 - 5,0 µm In Hightech-Fertigungsprozessen werden oft hochreine Gase benötigt. Das HPGP-101-C Hochdruckgas-Sensorsystem bietet ein zuverlässiges Inline-Monitoring von Prozessgasen auf Verunreinigungen bei Leitungsdruck. Das Hochdruckgas-Sensorsystem ist geeignet für Sauerstoff, Wasserstoff und die meisten ungiftigen Gase und kann in vielen Monitoring-Anwendungen für Reaktionsgase eingesetzt werden. Das Hochdruckgas-Sensorsystem beschleunigt die Qualifizierung von Prozessgas-Verteilungssystemen und weist Partikel in Gasen nach, bevor sie sich negativ auf die Produktivität auswirken können. Das HPGP ist für den Einsatz in Kombination mit dem Partikeldatensystem – Ethernet (PDS-E) zum Sammeln der vom Sensor erfassten Daten und zum Erstellen der zugehörigen Berichte konzipiert. Kapselung in Sicherheitsbehälter Geeignet für Sauerstoff und Wasserstoff Empfindlichkeit von 0,1 μm bei 0,1 SCFM Acht Partikelkanäle Leitungsdrücke von 40 bis 150 psig Passive Laserkavität Array-Detektorsystem mit Parallelverarbeitung Überprüfung der Gasqualität Erkennung von Störungen im Prozess Quantifizierung der Auswirkungen von Änderungen im System Genaue Größenbestimmung der Partikel Nutzung der Software FacilityNet für umfassende Datenspeicherung und -verwaltung, Berichte und Alarme Ausführung mit passiver Kavität erfordert keine häufige Wartung Inertgasspülung für hohe Sicherheit Unterbrechung der Stromversorgung zur Elektronik bei Entweichen des Probengases in den Behälter Qualifizierung von Gasverteilungssystemen Prozessgas-Monitoring Reaktionsgas-Monitoring