sehr kompakte Bauweise
speziell für optische Geräte und Proben
Miniatur-Xyz-Positionierer mit piezoelektrischem Trägheitsantrieb.
Technische Daten
Breite - 35 mm
Höhe - 18,5 mm
Tiefe - 25 mm
Max. Belastung (3 Achsen)
Mx, My, Mz (Schwungkraft) - 1,5 Ncm
Blockierkräfte (Fx, Fy, Fz) - 2 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 2 um
Seitliche Abweichung - 2 um
---