Linearer Positioniertisch MS15XYZpiezoelektrisch3-Achs
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- linear, XYZ
- Typ
- piezoelektrisch
- Achszahl
- 3-Achs
- Weitere Eigenschaften
- Miniatur, vakuumkompatible
- Hub
3 mm
(0,118 in)- Geschwindigkeit
1,5 mm/s
Beschreibung
für Ultrahochvakuumbedingungen bis zu 10^ (- 9) mbar
3,5 Millimeter-Reise in x-, y- und z-Richtung
15 x 15 Millimeter-Abdruck
Ultra kleine Miniaturübersetzungsstadien mit piezo eklektischem Trägheits-Antrieb. UHV-Ausgabe von MS15.
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