Verschiebetisch NDS70piezoelektrischClosed-LoopMiniatur
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- Verschiebe
- Typ
- piezoelektrisch
- Weitere Eigenschaften
- Closed-Loop, Miniatur, Mess, Standard
- Hub
15 mm
(0,591 in)- Geschwindigkeit
1 mm/s
- Ladung
120 g
(4,23 oz)
Beschreibung
für den geschlossenen Regelkreis (bis zu 50 nm Auflösung)
für das NOVA-System
Miniaturverschiebetische mit piezoelektrischem Inertialantrieb für das NOVA-System. Standard-Ausgabe
Technische Daten
Breite - 70 mm
Höhe - 20 mm
Tiefe - 70 mm
Schwungkraft (Mx) - 5 Ncm
Schwungkraft (My) - 5 Ncm
Schwungkraft (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 9 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Führungsgenauigkeit
Gierwinkel - 20 Bogensekunden
Neigungswinkel - 60 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 1 um
Seitliche Abweichung - 2 um
Informationen zur Messung
Referenzmarke - Mitte
Auflösung - 1 um bis 50 nm
Versorgungsspannung - 5 V
Stromverbrauch - 150 mA
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servo
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.