für den Betrieb im geschlossenen Regelkreis (Auflösung bis zu 50nm)
mehrachsenkombinationen ohne Adapterplatten
Miniaturverschiebetisch mit piezoelektrischem Inertialantrieb mit Messsystem.
Technische Daten
Breite - 52 mm
Höhe - 12,5 mm
Tiefe - 30 mm
Max. Belastung
Momentum (Mx) - 5 Ncm
Schwungkraft (My) - 5 Ncm
Drehmoment (Mz) - 5 Ncm
Blockierkraft (Fx) - 4,5 N
Lagerkraft (Fy, Fz) - 30 N
Genauigkeit der Lenkung
Gierwinkel - 170 Bogensekunden
Neigungswinkel - 160 Bogensekunden
Vertikale Abweichung - 3 um
Seitliche Abweichung - 3 um
Informationen zur Messung
Referenzmarke - Mitte
Auflösung - 1 um bis 50 nm
Versorgungsspannung - 5 V
Stromverbrauch - 150 mA
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