Der wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenz-Waferanalysator 2830 ZT (WDXRF) bietet die ultimative Möglichkeit zur Messung der Filmdicke und -zusammensetzung. Der 2830 ZT Wafer Analyzer von PANalytical wurde speziell für die Halbleiter- und Datenspeicherindustrie entwickelt und ermöglicht die Bestimmung von Schichtaufbau, Dicke, Dotierstoffgehalt und Oberflächengleichmäßigkeit für ein breites Spektrum von Wafern bis zu 300 mm.
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