ProduktübersichtDie Malema MPS-450 Serie bietet präzise Drucküberwachung für hochreine Prozesssysteme, etwa in der Halbleiterfertigung. Nichtmetallische Medienberührungs-Teile (PFA, PTFE, FFKM) verhindern Kontamination. Verfügbar als Einzelanschluss oder Inline-Durchflussausführung mit Rohr-, Säulen- oder Flare-Anschlüssen.
Merkmale- Benetzte Materialien: PFA, PTFE, FFKM für chemische Verträglichkeit in hochreinen Systemen
- Designoptionen: Einzelanschluss und Durchfluss-Ausführung
- Geeignet für Gase und nicht phasenändernde Flüssigkeiten
- Genauigkeit ±1% FS; Reproduzierbarkeit ±0,5% FS; Schutzart IP64
Anwendungen- Chemical and Mechanical Planarization (CMP)
- Electroless-Beschichtung
- Nassätzprozesse
- Nassreinigung und chemische Verteilungssysteme
- Chemische Mischsysteme
- Überwachung von ultrapurem Wasser
FluidanschlüsseRohr, Säule, Flare
Größen (Tabelle)Größen | 1/4\" | 3/8\" | 1/2\" | 3/4\" | 1\"
Einzelanschluss | X | X | X | |
Durchfluss | X | X | X | X | X
Leistungsdaten (Tabelle)Genauigkeit | ±1% FS
Reproduzierbarkeit | ±0,5% FS
Umgebungstemperatur | 0–50°C
Medientemperatur | 10–70°C
Messbare Medien | Gase oder nicht phasenverändernde Flüssigkeiten
Max. Betriebsdruck | Abhängig vom Messbereich; typischerweise +2 bar über dem Maximaldruck
Schutzart | IP64
Elektrische Daten (Tabelle)Ausgangsoptionen | Analog — passiver 4–20 mA Stromkreis oder 0–10 V DC
Versorgung | 24 V DC ±10%
Leistungsaufnahme | Max 30 mA @ 24 V DC
Kabel | 1 m, 3 m oder kundenspezifische Länge, PVC-Mantel verfügbar
Technische Daten- Brand: Malema
- Model: MPS-450
- Benetzte Materialien: PFA, PTFE, FFKM
- Designoptionen: Einzelanschluss oder Inline-Durchfluss
- Anschlussoptionen: Rohr, Säule, Flare
- Geeignete Medien: Gase oder nicht phasenverändernde Flüssigkeiten
- Umgebungstemperaturbereich: 0–50°C
- Medienbetriebstemperatur: 10–70°C
- Genauigkeit: ±1% FS
- Reproduzierbarkeit: ±0,5% FS
- Max. Betriebsdruck: Abhängig vom Bereich; typischerweise +2 bar über dem Maximaldruck
- Schutzart: IP64
- Ausgang: Passiver 4–20 mA Stromkreis oder 0–10 V DC
- Versorgung: 24 V DC ±10%
- Leistungsaufnahme: Max 30 mA @ 24 V DC
- Kabellängen: 1 m, 3 m oder kundenspezifisch, PVC-Mantel