Hartkunststoff-Poliermaschine CMP-Orbis

Präzision

Das Orbis CMP-System von Logitech ist ein präzisionsgefertigtes, bodenstehendes CMP-Gerät, das sich ideal für F&E-Umgebungen eignet. Typischerweise wird das Orbis CMP-System in Anwendungen eingesetzt, die Pilotproduktionstests mit optimalen analytischen Fähigkeiten und verbesserter Verarbeitungsleistung durchführen. Die Fähigkeiten des Systems können angepasst werden, um Folgendes zu umfassen: Back-End IC-Fertigung, Herstellung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS), Opto-MEMS Bio-MEMS-Fertigung. Kostengünstige Lösung - hochwertige Ergebnisse Für die Durchführung von Pilotprozesstests sind normalerweise teure Systeme auf Produktionsniveau erforderlich, doch mit dem Orbis wird diese Fähigkeit in einem kostengünstigen System erreicht. Das Orbis CMP-System verfügt über verbesserte Merkmale und High-Tech-Funktionen und bietet damit bessere Verarbeitungsmöglichkeiten als ein System dieser Größe. Flexible Nutzung des Betriebs Das Orbis-System eignet sich nicht nur für die Nachbildung von Produktionsumgebungen, sondern auch für den traditionellen F&E-Einsatz. Dazu gehören die Produktion von Kleinserien und die Erprobung der Pilotproduktion. Das System ist in der Lage, alle Die-, Wafer- und Teil-Wafer bis zu einem Durchmesser von 200 mm (8″) mit einem speziellen Träger zu bearbeiten. Wie bei früheren CMP-Geräten von Logitech können Schablonen und Unterlegscheiben verwendet oder die Proben direkt auf den Probenträger montiert werden. Wichtigste Merkmale Ideal für F&E-Umgebungen und Pilotverfahrenstests Großer Arbeitsbereich für Proben bis zu 2 von 200 mm (8″) Herunterladbare Daten für die Analyse von Prozessparametern Stellfläche im Labormaßstab Industriestandard-Pad-Konditionierung für eine optimale Lebensdauer des Pads