Optisches Profilometer Zeta™-20

3Dmit Weißlichtinterferometriefür Halbleiter

Das optische Tischprofilmessgerät Zeta-20 ist ein berührungsloses 3D-Oberflächentopografie-Messsystem. Das System basiert auf der patentierten ZDot™-Technologie und Multi-Mode-Optik und ermöglicht die Messung einer Vielzahl von Proben: transparent und undurchsichtig, mit niedrigem bis hohem Reflexionsgrad, glatter bis rauer Textur und Stufenhöhen von Nanometern bis Millimetern. Das Zeta-20 integriert sechs verschiedene optische Messtechnologien in einem konfigurierbaren und benutzerfreundlichen System. Der ZDot™-Messmodus erfasst gleichzeitig einen hochauflösenden 3D-Scan und ein True Color-Bild mit unendlichem Fokus. Weitere 3D-Messverfahren sind Weißlicht-Interferometrie, Nomarski-Interferenzkontrastmikroskopie und Scherinterferometrie. Die Schichtdicke kann mit ZDot oder einem integrierten Breitbandreflektometer gemessen werden. Das Zeta-20 ist auch ein High-End-Mikroskop, das für die Überprüfung von Proben oder die automatische Fehlerprüfung verwendet werden kann. Das Zeta-20 unterstützt sowohl F&E- als auch Produktionsumgebungen, indem es umfassende Messungen von Stufenhöhe, Rauheit und Schichtdicke sowie Defektprüfungen ermöglicht. Merkmale Einfach zu bedienendes optisches Profiliergerät mit ZDot- und Multi-Mode-Optik für ein breites Spektrum von Anwendungen Anwendungen Stufenhöhe: 3D-Stufenhöhe von Nanometern bis Millimetern Textur: 3D-Rauheit und Welligkeit auf glatten bis sehr rauen Oberflächen Form: 3D-Bogen und Form Spannung: 2D-Dünnschichtspannung Schichtdicke: transparente Schichtdicke von 30nm bis 100µm Defektprüfung: Erfassung von Defekten größer als 1µm Defekt-Überprüfung: KLARF-Dateien werden zur Navigation zu Defekten verwendet, um die 3D-Oberflächentopografie zu messen oder Defektpositionen zu ritzen