Der Roboter der TTS-Serie kann 2 und 3 FOUPs von EFEM ohne Schiene erreichen. Dank des speziell entwickelten Antriebssystems bewegt sich der Roboter unglaublich leichtgängig und mit hoher Präzision. Darüber hinaus sorgt sein starrer Teleskopmechanismus für Hochgeschwindigkeits-Handling in hohen und niedrigen Positionen.
Die Serie entspricht sowohl dem SEMI-F47- als auch dem SEMI-S2-Standard.
Anwendungen
Handhabung von Silizium-Wafern
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.
Über DirectIndustry
DirectIndustry ist ein Marktplatz, der B2B-Akteuren ein umfassendes Erlebnis bietet, von der Produktbeschaffung bis zum Kauf. DirectIndustry ist eine Einheit der VirtualExpo Group.