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Knickarmroboter NTS series 4-Achs5-AchsUmschlag
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Eigenschaften
- Typ
- Knickarm
- Achszahl
- 4-Achs, 5-Achs
- Funktion
- Umschlag
- Einsatzbereich
- für Reinraum
- Maximalbelastung
0,7 kg
(1,543 lb)- Aktionsradius
1.066 mm
(41,97 in)- Wiederholgenauigkeit
0,1 mm
(0,0039 in)
Beschreibung
Der Roboter der NTS-Serie kann auf 2 und 3 FOUPs von EFEM ohne Gleis zugreifen. Das speziell entwickelte Antriebssystem ermöglicht es dem Roboter, sich unglaublich sanft und mit hoher Präzision zu bewegen.
Die Serie entspricht sowohl dem SEMI-F47- als auch dem SEMI-S2-Standard.
Anwendungen
Handhabung von Silizium-Wafern
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Kataloge
Clean Robot NTS, TTS series
2 Seiten
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