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XY-Tisch XYR-65-10X10-AUT-ACR-65AUTdrehbarmit linearem Servomotorfür Wafer-Handling
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Eigenschaften
- Ausrichtung
- XY, drehbar
- Typ
- mit linearem Servomotor
- Weitere Eigenschaften
- für Wafer-Handling
- Hub
10 mm
(0,394 in)- Geschwindigkeit
200 mm/s
Beschreibung
XY-Rotationstische mit Linearmotoren und Torque-Direktmotoren mit niedrigem Profil für die Wafer-Handhabung und viele andere automatisierte präzise Positionieranwendungen in der Halbleiterfertigung. Der Linearmotorantrieb mit XY-Antrieb bietet XY-Positionierung im Submikrometerbereich und der Drehtisch mit Direktantrieb gewährleistet eine Leistung im Sub-Bogenbereich
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.