Flüssige Verdampfanlage LE

hohe Effizienzhoher Durchfluss

Ein hocheffizienter Flüssigkeitsverdampfer mit Strömungskanälen und Heizelementen, die in einen Aluminiumgussblock eingebettet sind, der eine maximale Wärmeübertragung gewährleistet und sowohl kalte Stellen als auch das Risiko der Kondensation ausschließt. Dieses Liquid Source Vaporization Control System kann bei bis zu 300 °C arbeiten und bis zu 30 g/min IPA (oder gleichwertig) verdampfen. Merkmale Innovatives Design maximiert die Verdampfungsrate Die neue Einspritzdüse gewährleistet eine gleichmäßige Flüssigkeitseinspritzung, die zu einer stabilen Dampfkonzentration beiträgt Vollständig aus Edelstahl gefertigter Durchflussweg für maximale Korrosionsbeständigkeit und minimale Partikelbildung Kompatibel mit vielen Arten von Vorläufermaterialien. Anwendungsflüssigkeit - H2O/IPA/TEOS/SiCl4 Bitte setzen Sie sich mit HORIBA in Verbindung, wenn Sie flüssige Materialien verdampfen möchten, die hier nicht aufgeführt sind. Maximale Verdampfungsmenge (Gasdurchsatz) - H2O : 10g/min (12,4 SLM) IPA ： 30g/min (11,1 SLM） TEOS : 50g/min（5.3 SLM） SiCl4 ： 130g/min（17.1 SLM）