Thermoverdampfer LSC

Prozessfür Flüssigkeiten

Das meistverkaufte Backsystem von HORIBA wurde entwickelt, um den Anforderungen der heutigen Hochtechnologieindustrie gerecht zu werden. Ohne die Notwendigkeit eines Trägergases kann das System eine stabile Verdampfung von Materialien wie TEOS (mit einer Rate von 600 SCCM) und H2O (mit einer Rate von 2 SLM) gewährleisten. Um den Zugang zu erleichtern, können alle Wartungsarbeiten an der Vorderseite des Geräts durchgeführt werden. Merkmale Vergasung mit hoher Durchflussrate Der LSC-A100 ermöglicht eine stabile Vergasung von Materialien wie TEOS 600SCCM und H2O 2SLM Alle Wartungsarbeiten können an der Vorderseite des Geräts durchgeführt werden Ein optionaler PDA vom Typ PocketPC kann zur Überwachung der Betriebsbedingungen des LSC sowie zur Aufzeichnung und Analyse von Betriebsprotokollen verwendet werden. Generierte Durchflussrate - H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (Max.) Betriebsdruck - Max. 1.33kPa Volumen des Quelltanks 2.7L Methode der Wärmeregulierung - PID-Steuerung durch den Wärmeregler Verfahren zur Erkennung der Flüssigkeitsoberfläche - Schwimmender Schalter Interner Massendurchflussregler Luftdruckventil Faltenbalgtyp Materialien im Flüssigkeitsanschluss und im Bereich des Gaskontakts - SUS316L, PFA Betriebstemperatur - 20 bis 35°C Externer Eingang - Luftdruckventil öffnen/schließen, Massendurchflussregler-Einstellsignal (0 bis 5 V DC/0 bis 100% v.E.), Not-Aus-Signal, Auto-Null-Signal (Option) Externer Ausgang Temperaturalarm, Flüssigkeitsstand H.H.-Alarm, Flüssigkeitsstandssignal (H, M, L), READY-Signal, Massedurchflussregler-Ausgangssignal (0 bis 5 V DC/0 bis 100% v.E.), thermoreguliertes Bad, interner Lüfterstoppalarm, Ventilspannungsüberwachung (Option) Stromquelle AC 100 V, einphasig 50/60 Hz, 1,5 kVA Sonstiges