Massenspektrometer HALO 201 MBE
ProzessÜberwachungGasanalyse

Massenspektrometer
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Eigenschaften

Typ
Massen
Bereich
Prozess, Überwachung, Gasanalyse

Beschreibung

Ein Gasanalysesystem für Molekularstrahlepitaxieanwendungen Die Hiden HALO-Systeme sind für RGA-, Gasanalyse- und Prozessüberwachungsanwendungen einschließlich Lecksuche, Trendanalyse und Vakuumüberwachung konzipiert. Halbleiterproduktion Brennstoffzellen Der MBE-spezifische Analysator besteht aus kompatiblen Materialien und ist für den dauerhaften Einsatz in MBE-Umgebungen ausgelegt. Er verfügt standardmäßig über eine Molybdänverdrahtung anstelle von Kupfer und eine kontaminationsresistente Ionenquellenabschirmung. Molybdänverdrahtung anstelle von Kupferverdrahtung zur Verlängerung der Lebensdauer des RGA-Systems in MBE-Umgebungen Kontaminationsresistente Ionenquellenumhüllung Dualer Faraday-/Kanalplatten-Elektronenvervielfacher Minimaler nachweisbarer Partialdruck bis 2 x 10-13 mbar Thermische Verlängerungsoption für den RGA-Betrieb während des Ausheizens

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Messen

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ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 Juni 2024 Frankfurt am Main (Deutschland) Halle 12.0 - Stand A36

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    * Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.