Massenspektrometer EQP series

vierpoligzur Analyse

Systeme für die Plasmaforschung Hochleistungsfähige kombinierte Massen- und Energiequadrupol-Massenspektrometer für die Charakterisierung von Plasmen. EQP-6 300 oder 510 amu Massenbereich mit 6 mm Triple-Filter-Quadrupol-Massenspektrometer für eine breite Palette von Plasmaforschungsanwendungen. EQP-9 Systeme mit 9 mm Triple-Filter-Quadrupol, die die größte Auswahl an Massenoptionen bieten. Optionen von 50 bis 5000 amu für Hochstabilitätsmessungen und Ionenclusteranalyse. EQP-20 mit dem 20-mm-Triple-Filter-Quadrupol von Hiden mit umschaltbarer Zone I/Zone H für 20 amu mit einer Peakbreite von 0,003 amu und einem Massenbereich von 200 amu mit Einheitsmassenauflösung zur Charakterisierung von Wasserstoffisotopenplasmen. Analyse von Ionen und Radikalen Ätz-/Abscheidungsstudien Ionenimplantation Laser-Ablation Restgas-Analyse Lecksuche Plasma-Elektroden-Kopplung CVD / MOCVD / ALD Die Plasmasonden von Hiden messen einige der wichtigsten Plasmaparameter und liefern detaillierte Informationen über die Chemie der Plasmareaktion. Ein detailliertes Verständnis der Reaktionskinetik von Plasmaionen und neutralen Spezies spielt eine Schlüsselrolle bei der Entwicklung fortschrittlicher Verfahren der Oberflächentechnik wie HIPIMS. Die integrierte Ionenquelle mit Elektronenbeschuss ermöglicht die Analyse von neutralen Spezies und mit dem zusätzlichen EAMS-Modus (Electron Attachment Mass Spectrometry) die Trennung und Identifizierung von elektronegativen Radikalspezies. Alle Geräte der EQP-Serie verfügen über einen 45°-Sektor-Energieanalysator mit hoher Transmission für die Analyse positiver und negativer Ionenenergie bis zu 1000 eV.