Fluoreszenzspektrometer X-RAY 5000

EDRFAProzess

Röntgenfluoreszenz-Messsystem zur kontinuierlichen in-line Messung und Analyse dünner Schichten, wie CIGS, CIS oder CdTe, im Produktionsprozess Merkmale • Einbaumesskopf für kontinuierliche Messungen in Fertigungsanlagen • Detektoren: Silizium PIN oder Silizium SDD • Einfachste, schnelle Kalibrierung mit Werkstück-Master direkt im Fertigungsablauf • Einsatz im Vakuum oder Umgebungsluft • Messung auch auf sehr heißen Substraten bis 500° C • Robuste und servicefreundliche mechanische Konstruktion Typische Einsatzgebiete • Photovoltaik (CIGS, CIS, CdTe) • Analyse dünner Schichten auf Metallbändern, Metallfolien und Kunststofffolien • Kontinuierliche Fertigung • Prozessüberwachung von Sputter- und Galvanikanlagen • Messung an großflächigen Produkten