Als sauberes Logistiksystem für Halbleiter ist es ein automatisches Lift- und Lagersystem, das die Wafer FOUP&FOSB in jede Etage transportiert.
Spezifikation
Hubweg: Maximal 60m
Hubgeschwindigkeit: 360m/min
Gabel Ladezeit: innerhalb 3sec
Beschleunigung/Verzögerung: 2m/sec²
Vibration: Nicht größer als RMS 0.8G
* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.
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