LED-Inspektionssystem C15740-01PhotolumineszenzautomatischMess
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Eigenschaften
- Technologie
- LED, Photolumineszenz
- Merkmal
- automatisch
- Typ
- Mess
- Anwendung
- für Produktion
Beschreibung
MiNY PL ist ein Inspektionssystem für Mikro-LED-Wafer, das die Photolumineszenz (PL)-Messmethode verwendet.
MiNY ist eine eingetragene Marke von Hamamatsu Photonics K.K. (China, EU, Japan, Taiwan, UK).
Spezifikationen
Unterstützte Wafergröße - 100 mm (4 Zoll) oder 150 mm (6 Zoll) (andere Größen verhandelbar)
Messzeit
Ca. 12 Minuten
(Objektivlinse 10×, PL-Messung, 4-Zoll-Wafer)
PL-Messwellenlänge - R, G, B
Räumliche Auflösung - 1 μm/Pixel (Standardmodus), 0,5 μm/Pixel (hochauflösender Modus)
Messgrößen - Formabweichung, PL-Intensität, PL-Wellenlänge
Außenabmessungen / Gewicht - 2000 mm (B) × 1878 mm (H) × 1130 mm (T) / ca. 1800 kg
Reinraum - Kompatibel
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Semiconductor manufacturing support systems
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* Die Preise verstehen sich ohne MwSt., Versandkosten und Zollgebühren. Eventuelle Zusatzkosten für Installation oder Inbetriebnahme sind nicht enthalten. Es handelt sich um unverbindliche Preisangaben, die je nach Land, Kurs der Rohstoffe und Wechselkurs schwanken können.