LED-Inspektionssystem C15740-01PhotolumineszenzautomatischMess
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Eigenschaften
- Technologie
- LED, Photolumineszenz
- Merkmal
- automatisch
- Typ
- Mess
- Anwendung
- für Produktion
Beschreibung
MiNY PL ist ein Inspektionssystem für Mikro-LED-Wafer, das die Photolumineszenz (PL)-Messmethode verwendet.
- Modellbezeichnung: C15740-01
- Unterstützte Wafergröße: 100 mm (4 Zoll) oder 150 mm (6 Zoll) (andere Größen verhandelbar)
- Messzeit :
- Ca. 12 Minuten
- (Objektivlinse 10×, PL-Messung, 4-Zoll-Wafer)
- PL-Messwellenlänge: R, G, B
- Räumliche Auflösung: 1 μm/Pixel (Standardmodus), 0,5 μm/Pixel (hochauflösender Modus)
- Messgrößen: Formabweichung, PL-Intensität, PL-Wellenlängenabweichung
- Außenabmessungen / Gewicht : 2000 mm (B) × 1878 mm (H) × 1130 mm (T) / ca. 1800 kg
- Reinraum : Kompatibel
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