CVD-Auftragsmaschine DA600 PRO

Produktübersicht
Die DA600PRO Diamant-Beschichtungsmaschine erzeugt ein gleichmäßiges Temperaturfeld durch parallele Heißfilament-Arrays und eine doppellagige Wasserkühlstruktur, um ultrananokristalline, nanokristalline und mikrokristalline Diamantfilme in verschiedenen Dicken und auf großen Flächen zu synthetisieren. Das Filamentdesign verringert Ausfallraten und erhöht die Stabilität; die Kammerdruckregelung reduziert zusätzlich Filamentbrüche. Eine leistungsstarke Heizversorgung erhöht die Chargenbeladungskapazität, ohne die Beschichtungsleistung zu beeinträchtigen. Das System unterstützt verschiedene Substrate für Werkzeug- und Industrieanwendungen. Die Dickenvariation für beschichtete Schneidwerkzeuge liegt bei unter 15 %.

Wesentliche Vorteile

• Gleichmäßige Temperaturverteilung durch parallele Heißfilament-Arrays und doppellagige Wasserkühlung.
• Stabiler Filamentbetrieb durch optimierte Filamentstruktur und Kammerdruckregelung zur Reduzierung von Bruch.
• Hohe Chargenkapazität ermöglicht durch eine 40-kW-Heizversorgung.
• Konsistente Beschichtungsuniformität: Dickenvariation innerhalb von 15 % für Schneidwerkzeuge.
• Unterstützt Hot-Filament-CVD für eine breite Palette von Substraten und Werkzeugen.

Anwendungsbereiche

• Schneidwerkzeuge (einschließlich Schaftfräser und PCB-Schneidwerkzeuge)
• Graphit und Verbundwerkstoffe (CFRP)
• PCB-Keramiksubstrate und leitfähige Beschichtungen
• AlSi-Legierungen (Si > 12 %)
• Holzbearbeitungswerkzeuge sowie Schaft-/Flächenteile

Produktparameter (Tabelle)
Modell: DA600PRO
Effektive Beschichtungsfläche: 300 × 300 mm
Interne Kammergröße: 2600 × 2100 × 700 mm³
Beschichtungsdicke: 4–30 μm
Max. Heizleistung: 40 kW
Kapazität (D3): 600 Stück
Beschichtungsmethode: Hot Filament CVD
Anwendbare Produkte: PCB-Schneidwerkzeuge; leitfähige Beschichtungen; Schaftwerkzeuge; Flächenbeschichtung für Einsätze und andere Werkstücke

Merkmale / Technische Spezifikationen

• Modell: DA600PRO
• Effektive Beschichtungsfläche: 300 × 300 mm
• Interne Maße: 2600 × 2100 × 700 mm³
• Kammervolumen: 0,16 m³ (berichtigt)
• Beschichtungsdickenbereich: 4–30 μm
• Maximale Heizleistung: 40 kW
• Kapazität: 600 Stück pro Charge (D3); ein Abschnitt verweist auch auf bis zu 500 Stück
• Beschichtungstechnologie: Hot Filament Chemical Vapor Deposition (HFCVD)
• Filmdickenuniformität für Schneidwerkzeuge: < 15 %
• Geeignete Substrate: Schneidwerkzeuge, Graphit, CFRP, PCB-Keramiksubstrate, AlSi-Legierungen (Si > 12 %), Holzbearbeitungswerkzeuge, Einsätze und andere flache Bauteile