Auftragsmaschine / Hoch -PE-CVD DLC800

Übersicht
Kompakte DLC-Beschichtungsanlage für die Fertigung verschleißfester, reibungsarmer Beschichtungen in Kleinserien. Huasheng DLC800 ist eine kompakte Maschine für die industrielle Kleinserienproduktion. Sie kombiniert Magnetron-Sputtern (MS) und PECVD zur Abscheidung von Cr/WC/a-C:H DLC-Schichten mit geringem Reibwert, hoher Verschleißfestigkeit, glatter Oberflächenqualität und guter Schichthaftung.

Hauptmerkmale

• Kompaktes Kammerdesign zur Reduzierung des Platzbedarfs und zur Unterstützung flexibler Kleinserienprozesse.
• MS + PECVD Hybridverfahren zur Herstellung von Cr/WC/a-C:H DLC-Filmen mit glatter Morphologie und zuverlässiger Schichtstruktur.
• Plasmareinigung und SET-Ätzung zur Verbesserung der Haftung zwischen Substrat und Beschichtung.
• Automatische Prozesssteuerung, modulare Komponenten und leichter Wartungszugang für vereinfachten Betrieb.

Leistungsdaten

• Typische Schichtdicke: 2–4 µm
• Niedriger Reibwert: ≤0,1
• Schichthärte: ≈2500 HV
• Typische Abscheidungstemperatur: <200°C

Produktparameter
Modell-Nr.: DLC800
Beschichtungstechnologie: MS + PECVD
Ätzung: SET
Abmessungen: L4850 × W1600 × H2400 mm
Kammervolumen: 0,8 m³
Effektive Beschichtungsfläche: Φ650 × 400 mm
Abscheidungstemperatur: <200°C
Kapazität: Auf Anfrage
Max. Ladegewicht: 500 kg
Spindeldurchmesser: Φ170 mm
Bearbeitungszeit: 6–8 h

Technische Merkmale / Spezifikationen

• Modell: DLC800
• Beschichtung: Cr/WC/a-C:H DLC (MS + PECVD)
• Typische Dicke: 2–4 µm
• Reibwert: ≤0,1
• Härte: ≈2500 HV
• Effektive Beschichtungsfläche: Φ650 × 400 mm
• Max. Ladegewicht: 500 kg
• Kammervolumen: 0,8 m³
• Abscheidungstemperatur: <200°C
• Bearbeitungszeit pro Charge: 6–8 h