Luftdruck
Regelgenauigkeit - ≤ ±0,0002 MPa
Druckbeaufschlagungsrate - Umgebungsdruck→0.8MPa ≤30min
Druckentlastungsrate - 0.8MPa→Umgebungsdruck ≥30min
Luftfeuchtigkeitskontrolle - 20-80% RH
Kontinuierlicher Betrieb: - ≥2000 Stunden, Lebensdauer 19 Jahre
Hauptmaterial - Edelstahl SUS304, SS316L, niedrig legierter Stahl, Titan,
Nickel, Zirkonium oder Hastelloy, Monel-Legierung und Verkleidungsplatte
Dichtungstyp - Magnetische Dichtung, mechanische Dichtung, Packungsdichtung und Dichtungsdichtung.
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