Plasmaoberflächenbehandlungsanlage Zepto

automatischLaborVakuum

Plasmaanlagen von Diener electronic haben sich längst in den verschiedensten Industriebereichen durchgesetzt. Mit der Niederdruck Plasmaanlage Zepto setzten Sie auf die moderne und zukunftssichere kalte Plasmatechnologie im Vakuum. Das Kammervolumen von ca. 1 - 4 Liter dieses Plasmasystems bietet genügend Raum um Labor und auch Kleinstserienfertigungen zu bedienen. Die Plasmabehandlung im Niederdruck-Plasma ist eine bewährte Technik zur kontrollierten Feinstreinigung, Verbesserung der Adhäsion (Aktivierung und Ätzung) und Beschichtung dünner Schichten auf Substratoberflächen. Plasma wird durch den Einsatz hochfrequenter Spannung in der Vakuumkammer erzeugt. Dabei wird das dort eingeleitete Prozessgas ionisiert. Anwendungsgebiete: VOC-freie Reinigung von organischen Rückständen Aktivierung vor dem Lackieren, Kleben, Vergießen, … Hauptmerkmale: Tischgehäuse Vakuumkammern: Borosilikatglas, RIE - Glocke Aluminium, Rechteckige Kammer, Kalk-Natron-Glas Kammervolumen: ca. 1 - 4 Liter Gaszufuhr: Nadelventile, Mass Flow Controller (MFCs) Generator Frequenzen: 40 / 100 kHz Leistung 0 - 100 W, 13,56 MHz Leistung 0 - 200 W, 2,45 GHz Leistung 0 - 150 W Steuerungen: Manuell, Drehschalter, Basic PC-Steuerung (Windows CE) Die Zepto Plasmasysteme kommen überwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik