Dichte-Überwachungssystem LambdaPro® OMS

für die ElektronikLaseroptisch

Das LambdaPro® OMS von Denton Vacuum ermöglicht es Ihnen, die Ausbeute zu maximieren, indem es die Abscheidung während eines Laufs steuert und eine von Lauf zu Lauf wiederholbare Leistung erzielt. Das LamdaPro OMS überwacht die Eigenschaften einer Optik in Echtzeit, während sie abgeschieden wird, indem es die Reflexion von - oder die Transmission durch - ein Substrat oder einen Zeugenchip nutzt. Diese direkte Überwachung eines Substrats oder die indirekte Überwachung eines Zeugenchips ermöglicht es Ihnen, die Abscheidung bei der gewünschten optischen Dicke zu beenden. Das LambdaPro® Optical Monitoring System ist in hohem Maße konfigurierbar, um Ihre exakten Spezifikationen zu erfüllen, und führt zu höheren Produktionserträgen bei Mehrschichtoptiken. Diese Lösung bietet eine vollständige Integration in das computergesteuerte System von Denton und bietet sowohl eine hohe Signalabtastrate als auch Analog-Digital-Wandlungen, während es sowohl im Reflexions- als auch im Transmissionsmodus arbeitet. Antireflexions- und Hochreflexionsbeschichtungen Laser-Facetten Optische Sensoren und Filter Bandpassfilter Infrarotfilter und -beschichtungen Neutraldichtefilter Metallisierung Strahlenteiler Das LambdaPro® OMS liefert dramatische Ergebnisse in Bezug auf die optische Dicke und die Gleichmäßigkeit von Mehrschichtstapeln und bietet gleichzeitig einen genauen Einblick in den erreichten Index in Echtzeit sowie in die Schichtstöchiometrie. Da unser OMS die optische Dicke und nicht die physikalische Dicke misst, eignet sich diese Lösung hervorragend für komplexe, mehrschichtige optische Stapel.