NDIR-Gassensor Gasboard-2061

zur Prozessmessungzur Überwachung der Reinigung von Halbleitergasendigital

Produktübersicht
Der Gasboard-2061 ist ein NDIR WF6-Gassensor zur Echtzeit-Endpoint-Erkennung bei Reinigungsprozessen in Wolfram-CVD-Kammern (WCVD). Er misst die WF6-Konzentration mit hoher Empfindlichkeit und Stabilität unter Prozessbedingungen und ermöglicht so eine rechtzeitige Anzeige des Reinigungsendpunkts zur Reduzierung der Reinigungsdauer, Begrenzung des Gasverbrauchs und Minimierung des Kammerverschleißes.

Der Gasboard-2061 verfügt über ein kompaktes, modulares Design für einfache Installation. Das Gerät unterstützt analoge und digitale Schnittstellen und erlaubt Kalibrierung und Einstellung für die problemlose Integration in Prozesssteuerungssysteme.

Merkmale

• NDIR-Messung optimiert für WF6-Überwachung.
• Schnelle Ansprechzeit zur Verfolgung von Konzentrationsänderungen in Echtzeit.
• Geringe Nullpunktdrift und hohe Reproduzierbarkeit für konsistente Messwerte.
• Gekapseltes Design geeignet für den Betrieb im Vakuum.
• 316L-Edelstahlkonstruktion beständig gegenüber korrosiven Prozessbedingungen.
• Analoge und digitale Ein-/Ausgänge für Integration und Wartung.

Spezifikationen
Messkomponente: WF6
Bereich: 0–200 mTorr
Wiederholbarkeit: ±0,5 %
Genauigkeit: ±1 % F.S.
Betriebsspannung: 24 VDC
Betriebsstrom: 1,5 A (max)
Analoger Ausgang: 0–5 VDC (4 Kanäle) oder 4–20 mA (4 Kanäle)
Analoger Eingang: 0–10 VDC (1 Kanal)
Digitalausgang: 4 Kanäle; Digitaleingang: 1 Kanal
Kommunikation: RS485
Probenahmeanschluss: NW25
Leckrate: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
Betriebstemperaturbereich: 20–35 ℃

Hinweise

• Alle Daten wurden bei Normaldruck gemessen.
• Kalibriergase werden von Stellen geliefert, die von nationalen Metrologiebehörden zertifiziert sind; die Gase sind in trockenem Stickstoff mit einer Reinheit von 99,999 % verdünnt.
• Die angegebenen Leistungswerte gelten nach Kalibrierung; jeder Sensor wird in der Produktion zu 100 % kalibriert.
• Messungen erfolgen bei 25 ℃, sofern nicht anders angegeben.

Technische Daten

• Messkomponente: WF6
• Bereich: 0–200 mTorr
• Wiederholbarkeit: ±0,5 %
• Genauigkeit: ±1 % F.S.
• Betriebsspannung: 24 VDC
• Betriebsstrom: 1,5 A (max)
• Analoger Ausgang: 0–5 VDC (4 Kanäle) oder 4–20 mA (4 Kanäle)
• Analoger Eingang: 0–10 VDC (1 Kanal)
• Digitalausgang: 4 Kanäle; Digitaleingang: 1 Kanal
• Kommunikation: RS485
• Probenahmeanschluss: NW25
• Leckrate: ≤1 × 10⁻⁶ Pa·m³/s (He)
• Betriebstemperaturbereich: 20–35 ℃