Testplattform für Halbleiter Hatina 4S

Übersicht
Die Hatina 4S von Cosmic ist eine kompakte, modulare ATE-Plattform für Wafer-Sort (WS) und Endprüfung von MEMS-Bauteilen und Magnetsensoren. Das System unterstützt Stimulus-Module für Feuchte-, Druck- und Temperatursensoren, Mikrofone, Magnetometer sowie Twist-Tilt-Einheiten für Beschleuniger und Gyroskope. Die skalierbare Architektur ermöglicht hohen Parallelbetrieb bis zu 140 Sites im Ping-Pong-Modus und einen geringen Platzbedarf für einfache Integration in Handler und Automationslinien.

Hauptvorteile

• Kompakte modulare Lösung für die Serienprüfung von MEMS und Magnetsensoren
• V/I-Kanäle mit hoher Pin-Anzahl und dynamische Stromversorgungen (DPS)
• Hochdichte digitale Kanäle und PPMU-Optionen
• Integriertes Multiplexing zur Kanalwiederverwendung und Flexibilität
• Geringe Kosten pro Site durch hohen Parallelbetrieb
• Vereinfachte Integration in Automationssysteme und Handler

Verfügbare Varianten

• Hatina 4S Magnetic — Stimulus-System mit Magneto Board und starker Magnetfeld-Erzeugung (patentiertes coil-less Design)
• Hatina 4S MEMS — Konfiguration optimiert für MEMS-Bauteile (Beschleuniger, Gyroskope, Druck, Temperatur, Feuchte, Gassensoren)
• Hatina 4S Microphone — New Era Mikrofon-System mit Audio-Modulen und AWG pro Site für MEMS-Mikrofon-Tests

Produktzusammenfassung
Die Hatina 4S richtet sich an hoch-parallele Produktionstests von MEMS und Magnetsensoren. Technische Highlights sind ein patentierter coil-less Magnetfeld-Generator (bis zu 400 Gauss) mit 3D-Rotation, Mikrofon-Testfähigkeit mit bis zu 75 dB SNR und 140 dB SPL, eine Geräuschuntergrenze < 20 dB und Amplitudengenauigkeit < 0,1 dB, Unterstützung für Klimakammern von −40 °C bis +180 °C sowie Module für Beschleuniger/Gyroskope, die Mehrsite-Paralleltests ermöglichen. Die Plattform fokussiert auf kompakte Bauform, hohe Konfigurierbarkeit und Minimierung der Testkosten pro Einheit durch große Site-Zahlen.

Technische Spezifikationen

• Abmessungen (D×W×H): 330 mm × 360 mm × 538 mm
• Max. Parallelität: skalierbar bis zu 140 Sites (Ping-Pong-Modus)
• Magnetische Variante: patentierter coil-less Magnetfeld-Generator bis 400 Gauss mit 3D-Rotation
• Mikrofon-Leistung: bis zu 75 dB SNR; 140 dB SPL; Geräuschboden < 20 dB; Amplitudengenauigkeit < 0,1 dB
• Klimakammer-Unterstützung: Betriebsbereich −40 °C bis +180 °C
• Analog / Power (Hatina 4S): 8 DCS @ 1 A Sources mit Mux in 256 Positionen
• Analog / Power (Hatina 4S Magnetic): bis zu 40 DCS_MP; Spannungsbereiche ±1 V, ±3 V, ±5 V, ±10 V; -10 V/+30 V; -10 V/+55 V; Strombereiche: 20 µA, 200 µA, 2 mA, 20 mA, 4 A
• Digitalkanäle & PPMU (Hatina 4S): 48 Digitalkanäle & PPMU_60mA Sources Mux in 256 Positionen + 20 Digitalkanäle ohne Mux – 16 PPMU ohne Mux
• Digitalkanäle & PPMU (Hatina 4S MEMS): bis zu 320 Digitalkanäle; bis zu 192 PPMU
• New Era Board (Microphone): bis zu 24 Module — 1 Modul = 20 Digitalkanäle + analoger Teil (16 PPMU)
• Microphone64 Board (Microphone-Variante): bis zu 8 Audiomodule zum Testen digitaler & analoger MEMS-Mikrofone + AWG pro Site
• Rate Table: Steuerung verfügbar (MEMS-Variante)
• JIG / Interface: Socket Board, Magneto PCB und Reference Board (magnetische Variante)
• Systemkomponenten: HATINA Tester, Loadboard plus Kabelsatz, Interface/JIG (Socket Board, Magneto Board, Reference Board)