Oberflächenprofiler mit Stylus NS200

Oberflächenrauheitzur KontrolleLabor

Das Stylus-Nano-Profilometer NS200 ist ein taktiles Messgerät zur Bestimmung von Oberflächenrauheit, mikroskopischen Profilen, Mikro‑Nano-Stufenhöhen und Schichtdicken. Es verwendet einen Sub‑Ångström‑Wegsensor, rauscharme Signalaufnahme, feinsteuernde Bewegungsregelung und fortschrittliche Kalibrierungsalgorithmen, bietet sehr geringe Kontaktkräfte und ist auf unterschiedliche Oberflächenreflexionen, Materialien und Härtegrade anwendbar — geeignet für Inspektionen in Halbleitern, LED, Solar, MEMS, Touch‑Displays, Automobil und Medizintechnik.

Anwendung

• Halbleiter
  • Stufenhöhe auf abgeschiedenen Filmen
  • Stufenhöhe von Dünnfilm‑Resist
  • Ätzratenmessung
  • Chemisch‑mechanisches Polieren (Korrosion, Lochfraß, Biegung)
• Große Substrate
  • Leiterplatten‑Erhebung und Stufenhöhe
  • Fensterbeschichtung
  • Wafer‑Maske
  • Wafer‑Chuck‑Beschichtung
  • Polierteller
• Glassubstrat und Display
  • AMOLED
  • Stufenhöhenmessung während der LCD‑Entwicklung
  • Dickenmessung für Touch‑Panel‑Folie und dünne Solarbeschichtungen
• Film auf flexiblen Komponenten
  • Organischer Photodetektor
  • Auf Film und Glas gedruckte organische Filme
  • Kupferspuren in Touchscreens

Eigenschaften / technische Spezifikationen

• Modellnr.: NS200 (auch als NS200‑D erhältlich)
• Probensicht - Frontansicht Navigation: 5MP Farbkameras F.O.V. 2.2 × 1.7 mm (NS200) / 5MP Farbkameras F.O.V. 10 × 13.4 mm (NS200‑D)
• Probensicht - Seitenansicht Navigation: 5MP Farbkameras F.O.V. 2 × 2.68 mm (NS200‑D), nicht anwendbar für NS200
• Sensor: LVDC‑Sensor mit ultra‑geringer Trägheit
• Messkraft: 1–50 mg einstellbar
• Stiftspitze: Spitzenradius 2 μm, Winkel 60°
• XY‑Fahrbereich: Motorisiertes X/Y 150 mm × 150 mm, manuell einstellbare Nivellierung
• Proben R‑θ‑Bühne: Motorisiert, kontinuierliche Rotation 0–360°
• Vakuum‑Chuck: 6‑Zoll Vakuum‑Chuck
• Einzelscanlänge: 55 mm
• Max. Scanbereich: 150 mm (XY‑Fahrt) + 55 mm Scanlänge; maximale Reichweite 8"
• Max. Probennhöhe: 50 mm
• Max. Wafergröße: 200 mm (8")
• Stufenhöhen‑Wiederholbarkeit*: 5 Å @ Bereich 330 μm / 10 Å @ Bereich 1 mm (Messung Stufenhöhe 1 μm, 1δ)
• Sensorbereich: 330 μm oder 1050 μm (330 μm Sonde ist magnetisch; wählen Sie 330 μm, es sei denn, ein sehr großer Bereich ist erforderlich)
• Scan‑Geschwindigkeit: 2 μm/s bis 10 mm/s
• Max. Scan‑Stichprobenpunkte: 12.000
• Abmessungen (L × B × H): NS200: 640 × 610 × 500 mm; NS200‑D: 640 × 650 × 530 mm
• Gewicht: 40 kg
• Eingang: AC 100–240 V, 50/60 Hz, 200 W
• Betriebsumgebung: Luftfeuchte 30–40% RH (kein Kondensat); Temperatur 16–25 °C (Schwankung < 2 °C/h); Bodenvibration: 6.35 μm/s (1–100 Hz); Schallpegel ≤ 80 dB; Laminare Luftströmung ≤ 0.508 m/s (Abwärtsströmung)
• Hinweise: Wiederholbarkeitsdaten gemessen in einem VC‑C Standardlabor mit Anti‑Vibrations‑Tisch; wenn diese Bedingungen nicht erfüllt sind, verdoppeln sich die Wiederholbarkeitswerte.